廣州市銀標(biāo)貿(mào)易有限公司
聯(lián)系人:賴先生
手機(jī):13922125860
固話:+86-20-23830796 23830403
傳真:+86-20-34637699
網(wǎng)址:m.yogaandcreativity.com
郵箱:laiqiangping2010@163.com
地址:廣州市番禺區(qū)鐘村鎮(zhèn)鐘榮路1號(hào)致業(yè)科技中心A棟3樓AS388#
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對(duì)光敏感的混合液體。由光引發(fā)劑、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑組成。光刻膠是一種圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì),可利用光照反應(yīng)后溶解度不同將掩膜版圖形轉(zhuǎn)移至襯底上。目前光刻膠被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的精細(xì)圖形線路加工制作上。是電子制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料之一。
按光波長(zhǎng)分,光刻膠可分為紫外(300-450nm)光刻膠、深紫外(160-280nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等,通常來(lái)說(shuō),在使用工藝方法一致的情況下,波長(zhǎng)越短,加工分辨率越佳。
按照應(yīng)用領(lǐng)域的不同,光刻膠又可分為印刷電路板(PCB)用光刻膠、液晶顯示(LCD)用光刻膠、半導(dǎo)體用光刻膠和其他用途光刻膠。其中PCB光刻膠技術(shù)壁壘相對(duì)其他兩類較低,而半導(dǎo)體光刻膠代表著光刻膠最先進(jìn)的技術(shù)水平。
按化學(xué)結(jié)構(gòu)分類;光刻膠可分為光聚合型,光分解型,光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。光聚合型光刻膠采用烯類單體,在光作用下產(chǎn)生自由基,進(jìn)一步引發(fā)單體聚合,最后生成聚合物。光分解型光刻膠,采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑,其經(jīng)光照后,發(fā)生光分解反應(yīng),可以制成正性光刻膠;光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而起到抗蝕作用,可以制成負(fù)性光刻膠。在半導(dǎo)體集成電路光刻技術(shù)開始使用深紫外(DUV)光源以后,化學(xué)放大(CAR)技術(shù)逐漸成為行業(yè)應(yīng)用的主流。在化學(xué)放大光刻膠技術(shù)中,樹脂是具有化學(xué)基團(tuán)保護(hù)因而難以溶解的聚乙烯。化學(xué)放大光刻膠使用光致酸劑(PAG)作為光引發(fā)劑。當(dāng)光刻膠曝光后,曝光區(qū)域的光致酸劑(PAG)將會(huì)產(chǎn)生一種酸。這種酸在后熱烘培工序期間作為催化劑,將會(huì)移除樹脂的保護(hù)基團(tuán)從而使得樹脂變得易于溶解?;瘜W(xué)放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍,對(duì)深紫外光源具有良好的光學(xué)敏感性,同時(shí)具有高對(duì)比度,對(duì)高分辨率等優(yōu)點(diǎn)。
光刻膠是集成電路制造的重要材料:光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素,光刻工藝成本約為整個(gè)芯片制造工藝的35%,并且耗費(fèi)時(shí)間約為整個(gè)芯片工藝的40-50%,光刻膠成本約占IC制造材料總成本的4%,市場(chǎng)巨大。據(jù)第三方機(jī)構(gòu)智研咨詢統(tǒng)計(jì),2019年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)近90億美元,自 2010年至今CAGR約5.4%。預(yù)計(jì)該市場(chǎng)未來(lái)3年仍將以年均5%的速度增長(zhǎng),至2022年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)100億美元。光刻膠行業(yè)具有極高的行業(yè)壁壘,因此在全球范圍其行業(yè)都呈現(xiàn)寡頭壟斷的局面。光刻膠行業(yè)長(zhǎng)年被日本和美國(guó)專業(yè)公司壟斷。目前前五大廠商就占據(jù)了全球光刻膠市場(chǎng) 87%的份額,行業(yè)集中度高。其中,日本 JSR、東京應(yīng)化、日本信越與富士電子材料市占率加和達(dá)到72%。并且高分辨率的 KrF 和 ArF 半導(dǎo)體光刻膠核心技術(shù)亦基本被日本和美國(guó)企業(yè)所壟斷,產(chǎn)品絕大多數(shù)出自日本和美國(guó)公司,如杜邦、JSR 株式會(huì)社、信越化學(xué)、東京應(yīng)化工業(yè)、Fujifilm,以及韓國(guó)東進(jìn)等企業(yè)。整個(gè)光刻膠市場(chǎng)格局來(lái)看,日本是光刻膠行業(yè)的巨頭聚集地。目前中國(guó)大陸對(duì)于電子材料,特別是光刻膠方面對(duì)國(guó)外依賴較高。所以在半導(dǎo)體材料方面的國(guó)產(chǎn)代替是必然趨勢(shì)。